Специалисты Института ядерной физики имени Герша Будкера СО РАН планируют за три года восстановить технологический накопительный комплекс в Зеленограде, который построили в 1991 году, но так и не запустили в работу из-за распада СССР. Ускоритель частиц планируют использовать для полупроводниковой литографии, пишет телеграм-канал "МашТех".
Заброшенный 32 года назад комплекс пригодится в отечественной технологической цепочке производства микроэлектроники. Это будет основной инструмент, который позволит создавать, испытывать и отлаживать технологию литографов. Сейчас их делает одна компания в мире.
Синхротрон в Зеленограде планируют использовать для разработки, проверки и испытаний критически важных элементов отечественного литографа. Стоимость проекта по его восстановлению составит около 500 млн рублей, однако это в 20 раз дешевле, чем создание такого объекта с нуля.
В сотрудничестве с НИИ точного машиностроения будет создана также ускорительная часть отечественного имплантора для микроэлектроники. Эта разработка займёт одну из ключевых ролей в российской промышленности, причём на её завершение тоже отводят всего три года.
