Минпромторг предлагает 175 млн рублей за разработку и освоение производства гелий-неоновых лазеров и фотоприёмников для систем позиционирования оборудования, применяемого в производстве интегральных схем с топологическими нормами до 65 нм. Как сообщает телеграм-канал "МашТех", соответствующий тендер появился на сайте госзакупок.
Разработка необходима для замены лазеров и фотоприёмников производства фирмы Keysight в зарубежном оборудовании Nikon и ASML, а также в действующем и разрабатываемом отечественном оборудовании, применяемом в производстве ИС с проектными нормами до 65 нм.
"Лазеры потребуются для высокоточного позиционирования активных частей установки относительно полупроводниковой пластины. Как и всегда в подобных госзакупках, комплектующие и материалы изделия должны быть отечественного производства и обеспечивать отсутствие критической зависимости от иностранных производителей", – поясняет "МашТех".
Как сообщал Ruposters, Минпромторг не жалеет денег на отечественные литографы – недавно ведомство заказало разработку метрологического оборудования для разработки и настройки литографических установок для производства отечественных чипов. На опытно-конструкторские работы ведомство планируется потратить 497,1 млн рублей.
