Минпромторг со второй попытки заказал разработку метрологического оборудования для разработки и настройки литографических установок для производства отечественных чипов. Как сообщает телеграм-канал "МашТех", на опытно-конструкторские работы ведомство готово потратить почти полмиллиарда – 497,1 млн рублей.
Согласно техзаданию на сайте госзакупок, работы должны быть завершены в конце апреля 2027 года. Необходимо создать эталонный комплекс параметров лазерного излучения в ультрафиолетовой области спектра для развития метрологического обеспечения разработки, производства, испытаний и эксплуатации лазерной техники, применяемой в литографическом оборудовании нового поколения. Комплекс будет состоять из:
- аппаратуры энергии лазерного излучения на длинах волн 193 и 248 нм;
- аппаратуры средней мощности энергетических параметров лазерного излучения на длинах волн 193 и 248 нм;
- аппаратуры пространственно-энергетических параметров лазерного излучения на длинах волн 193 и 248 нм;
- аппаратуры единицы длины волны лазерного излучения в ультрафиолетовом спектральном диапазоне.
Комплектующие и материалы должны быть отечественного производства, без критической зависимости от иностранных производителей. Заказчик также требует соблюдать требования конфиденциальности сведений, касающихся выполняемой работы и полученных результатов.
"Заказанное оборудование – это эталон для поверки оптических параметров российских эксимерных лазеров, которые будут использованы в российских установках литографии. Опытные образцы эксимерного лазера, разработанного в группе компаний "Лассард", уже готовы", – добавили авторы "МашТеха".
