Литограф, разработанный Зеленоградским нанотехнологическим центром (ЗНТЦ), будет стоить $6 млн и сможет обрабатывать от 100 до 140 пластин в час – такие цифры привёл телеграм-канал "МашТех", ссылаясь на разработчиков.
Аналогичная иностранная установка от компании ASML обходится в $15 млн и обрабатывает 180 пластин в час. Литографы Nikon продают за $12 млн, их производительность – 150 пластин в час. Таким образом, имея лишь немногим меньшую производительность, 130-нанометровый литограф ЗНТЦ обойдётся вдвое дешевле конкурентов.
"Вот только его ещё предстоит дождаться – завершить работы по разработке хотят в 2026 году, а поставки заказчикам обещают начать с 2028 года. Формально это близко к обещаниям замглавы Минпромторга Василия Шпака, обещавшего производство литографа с топологией 130 нм в 2026 году", – заключил "МашТех".
Ранее, как сообщал Ruposters, в Новосибирске разработали новый ультрафиолетовый лазер для литографии, который должен заменить 257-нанометровый лазер американской компании Coherent.
