Минпромторг планировал выделить 1,6 млрд рублей на "разработку автоматизированной установки измерения рассовмещения топологических слоев на кремниевых пластинах диаметром 150, 200 мм", но в итоге цена контракта снизилась до 1,56 млрд. Исполнителем, как сообщает "МашТех", стала компания "Микрон" (группа компаний "Элемент").
Исполнителю предстоит разработать установку для измерения рассовмещения топологических слоёв на кремниевых пластинах – аналог американской установки ARCHER 10 XT от KLA TENCOR. Она должна автоматически измерять рассовмещение слоёв на пластинах диаметром до 200 мм с проектными нормами до 130 нм. Установка должна сканировать структуры слоев посредством интерферометра, встроенного в оптическую колонну и формировать пакет данных для коррекции процесса экспонирования. Требуемая производительность – от 75 пластин в час.
"Если упростить, то до 31 июля 2029 года "Микрон" должен создать "микроскоп-контролёр", который следит за точностью наложения слоёв при производстве микросхем. Требуется контролировать рассовмещение слоев с точностью до нанометров", – пояснил "МашТех".
В конкурсе участвовали две компании, одна из которых готова была выполнить контракт даже дешевле – за 1,53 млрд рублей. "Микрон" получил от комиссии меньшую оценку за стоимость работы, но выиграл конкурс по количеству баллов за опыт, репутацию и наличие ресурсов.
Ранее Ruposters сообщал, что отечественная IT-отрасль потребовала значительных инвестиций в R&D.
